洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都旨在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。检测完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。

　　检测步骤：

　　（1）确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。

　　（2）确认测试位置与测试点数。

　　（3）取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。

　　（4）测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。

　　（5）测量点数以公式计算。

　　洁净度检测技巧：

　　1、送风量与排风量：如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。

　　2、各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：（1）各区间的压差正确；（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。

　　3、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：（1）损坏了的过滤器；（2）过滤器与其外框间的缝隙；（3）过滤器装置的其他部位而侵入室内。

　　4、隔离检漏：这项洁净度检测是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。